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    日本ETEX非接觸式在線真空蒸鍍膜測厚儀技術(shù)解析與應用

    發(fā)布時間: 2025-09-26  點擊次數(shù): 60次

    一、技術(shù)原理

    日本ETEX非接觸式在線真空蒸鍍膜測厚儀基于光學原理,通過特定波長的光在材料中的透射率(光學密度)來測量鍍膜厚度。其工作原理是:當光通過鍍膜材料時,透射率與鍍膜厚度成反比關系,即鍍膜越厚,透射率越低,光學密度越高。該測厚儀利用這一原理,實時監(jiān)測材料的光學透射率或光學密度,從而實現(xiàn)對鍍膜厚度的精確測量。

    二、技術(shù)特點

    1. 非接觸式測量:采用光學非接觸測量方式,無需與被測材料直接接觸,避免了對材料的損傷,特別適用于對極薄膜層或易損壞材料的測量。
    2. 高精度與穩(wěn)定性:具備高測量精度,能夠提供穩(wěn)定可靠的測試數(shù)據(jù),確保測量結(jié)果的準確性。
    3. 實時在線監(jiān)測:可實時在線測量鍍膜厚度,幫助生產(chǎn)過程中及時掌握產(chǎn)品質(zhì)量,提前發(fā)現(xiàn)問題并調(diào)整工藝,提高產(chǎn)品良品率。
    4. 靈活的測試點配置:用戶可根據(jù)需要自由選擇測試點的數(shù)量和位置,最多可定制45個測試點。
    5. 智能報警與控制:配備過限報警功能,可智能控制生產(chǎn)質(zhì)量,減少對人工操作的依賴,提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量。
    6. 溫度補償功能:具備溫度補償功能,即使在高溫環(huán)境下也能保持測量值的穩(wěn)定。
    7. 自動與手動校準:提供自動校準和手動校準功能,用戶可根據(jù)需求自行設置,確保測量的準確性。
    8. 模塊化設計與維護:采用模塊化設計,各模塊通過航空插頭連接,單點可拆卸,便于未來的維護和升級。
    9. 抗干擾與防塵設計:具有良好的抗干擾能力和防塵設計,能適應復雜的工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境,只需定期清潔探頭前玻璃即可。
    10. 通信與兼容性:配備RS485接口和MODBUS通信協(xié)議,可方便地與PLC、HMI、PC等設備連接,實現(xiàn)閉環(huán)控制。

    三、應用領域

    1. 半導體行業(yè):在半導體制造中,膜層厚度的均勻性和精準度對芯片性能至關重要。ETEX測厚儀能夠確保每一層膜的厚度符合設計要求,從而提高芯片的性能與良品率。
    2. 光學行業(yè):光學元件如鏡頭、濾光片等需要光學透過率和膜層均勻性。該測厚儀可以幫助光學工程師優(yōu)化膜層設計,改善光學特性。
    3. 裝飾行業(yè):在裝飾性鍍膜如電鍍、噴涂中,膜層厚度直接影響產(chǎn)品的外觀和使用壽命。通過ETEX測厚儀,可以快速監(jiān)測鍍膜厚度,確保產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定。
    4. 醫(yī)療器械行業(yè):在醫(yī)療器械中,如植入物和手術(shù)工具的鍍膜,不僅要求美觀,更要保證安全與生物相容性。精準的膜厚控制有助于提升這些產(chǎn)品的性能。
    5. 玻璃制造:在玻璃涂層生產(chǎn)線上,ETEX測厚儀可實時檢測玻璃的膜厚、均勻性和光透射率,避免生產(chǎn)出不符合國家標準的玻璃產(chǎn)品,減少損失,提高生產(chǎn)效率。
    6. 鋁箔鍍膜:在鋁箔真空鍍鋁過程中,該測厚儀能夠一次性檢測大量、寬幅和長尺寸的鋁箔,實現(xiàn)在線自動測試、實時數(shù)據(jù)監(jiān)測、超限報警以及與鍍膜機的RS485通信,為鍍膜機的閉環(huán)控制提供設備支持。
    7. 硫化鋅薄膜檢測:硫化鋅薄膜主要通過熱蒸發(fā)制備,ETEX測厚儀利用光學密度與膜厚成比例的原理,通過監(jiān)測硫化鋅薄膜的光學透射率(光學密度)來實現(xiàn)對其均勻性的監(jiān)控。
    8. 銅鍍膜檢測:在柔性基材(如PET等材料)上通過磁控濺射鍍膜機沉積高純無氧銅導電層時,ETEX測厚儀可以幫助實時了解鍍膜情況,并實時調(diào)整鍍膜機的工藝參數(shù),節(jié)省時間和成本。
    日本ETEX非接觸式在線真空蒸鍍膜測厚儀以其獨特的優(yōu)勢和廣泛的應用領域,在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮著重要作用,為提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率提供了有力的技術(shù)支持。


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