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    日本pureron高過濾精度全金屬氣體過濾器

    日本pureron高過濾精度全金屬氣體過濾器

    更新日期:2024-05-12

    訪問量:958

    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

    生產(chǎn)地址:

    簡要描述:
    日本pureron高過濾精度全金屬氣體過濾器UCS-m系列
    UCS-M系列: 管狀部件 過濾精度0.003μm 推薦流量15~250L/min

    日本pureron高過濾精度全金屬氣體過濾器UCS-m系列

    日本pureron高過濾精度全金屬氣體過濾器UCS-m系列

     

    金屬氣體過濾器

    全部采用SUS316L材質(zhì)制造,緊湊式設(shè)計(jì)、高過濾精度、耐高溫(460℃)用于ULSI制造的高性能氣體過濾器。

    • UCD系列: 圓盤狀部件過濾精度0.003μm 推薦流量10~100L/min
    • RGF系列: 管狀部件 過濾精度0.1~10μm 推薦流量40~60L/min
    • UCS-M系列: 管狀部件 過濾精度0.003μm 推薦流量15~250L/min

     高過濾精度全金屬氣體過濾器 UCS-m系列

     

    • 全部材質(zhì)采用SUS316L不銹鋼
    • 高清浄度:全部產(chǎn)品在交付前經(jīng)過內(nèi)部特殊洗凈,通入高純度氮?dú)獾耐瑫r(shí)進(jìn)行高溫烘烤處理。
    • 高流量、高壓差下也可以高效去除0.003μm以上的粒子。
    • 高內(nèi)熱性 460℃
    • 具備10?/min的小流量到250?/min的中流量各種型號(hào)。
    • 低壓力損失:和以往的金屬過濾器相比,壓力損失非常低,體積小巧但能夠處理高流量氣體。

     

    過濾精度0.003μm
    推薦流量10M…15?/min、13M…60?/min、19M…120?/min、24M…250?/min
    設(shè)計(jì)壓力17MPa (2,465PSIG) at20℃本產(chǎn)品全部經(jīng)過14.7MPa的耐壓測試后出貨。但是,依據(jù)日本國內(nèi)的高壓氣體保安法,使用壓力的顯示和使用是不超過1MPa。關(guān)于1MPa以上的高壓煤氣認(rèn)定品,請?jiān)儐栁覀儭?/td>
    常用壓力1MPa(145PSIG)未滿
    容許差壓15MPa(2,175PSIG) at20℃
    使用溫度460℃(惰性氣體)
    外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec以下
    構(gòu)成材料外罩:SUS316L(電解研磨處理) 元素:SUS316L 內(nèi)表面粗糙度:Rmax0.5μm以下
    標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格烘烤、純水特殊洗凈(過濾器內(nèi)部)
    連接零件1/4"、3/8"、1/2" Gasket seal、 Compression seal、其它
     
     

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