日本ulvac冷陰極電離真空計(jì) SC1

更新日期：2024-05-16

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簡(jiǎn)要描述：

日本ulvac冷陰極電離真空計(jì) SC1
G-TRAN系列是基于（1）降低設(shè)備成本、（2）節(jié)省空間、（3）節(jié)省布線的概念開(kāi)發(fā)的真空計(jì)，用于集中過(guò)程控制和各種設(shè)備的小型化。它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成，可以根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行組合。

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產(chǎn)品介紹

日本ulvac冷陰極電離真空計(jì) SC1

G-TRAN系列是基于（1）降低設(shè)備成本、（2）節(jié)省空間、（3）節(jié)省布線的概念開(kāi)發(fā)的真空計(jì)，用于集中過(guò)程控制和各種設(shè)備的小型化。
它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成，可以根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行組合。

特征

探頭與測(cè)量電路一體化結(jié)構(gòu)
模擬輸出和設(shè)定值輸出
獨(dú)立的偽對(duì)數(shù)輸出和設(shè)定值輸出（顯示單元）
采用 48 x 96mm DIN 標(biāo)準(zhǔn)尺寸（顯示單元）

用途

用于半導(dǎo)體和電子零件等各種制造設(shè)備的過(guò)程控制
用于熔爐等各種工業(yè)設(shè)備的過(guò)程控制
用于在線式和單晶片式等具有許多工藝室的各種制造設(shè)備的工藝控制

日本ulvac冷陰極電離真空計(jì) SC1

規(guī)格

類型		傳感器單元
模型		SC1
自適應(yīng)探頭		C-21、23、24、25
測(cè)量壓力范圍		1.0×10 ^-5至 1.0 Pa
測(cè)量精度		+99%，-50%（1.0×10 ^-4到 1.0×10 ^-1）
工作溫度限制		10～40℃
測(cè)量值輸出		非線性輸出：DC0V 至 10V（HV-OFF 時(shí)為 10V）
SETPOINT1/2 調(diào)整輸出		非線性輸出：0 至 10V DC
控制輸入信號(hào)		高壓開(kāi)/關(guān)
輸出信號(hào)		集電極開(kāi)路，負(fù)邏輯
控制輸出信號(hào)		放電確認(rèn)/設(shè)定點(diǎn) 1/2
LED顯示屏		功率、高壓、壓力保護(hù)、設(shè)定點(diǎn) 1/2
電源		DC24V±2V, 150mA
輸入/輸出連接器		D-sub-15 針（M2.6 螺絲）
身體質(zhì)量		430g（不含觸控筆）
配件		輸入/輸出連接器 1套
		1份快速手冊(cè)