日本pureron排氣過濾器FBA系列
日本pureron排氣過濾器FBA系列
排氣過濾器 FBA系列
制造半導體元器件裝置在裝填-閉鎖真空室（load-lock chamber）和傳送室（transfer chamber）里進行真空破壞，那時候浮粒子會卷起來和發生過渡性亂流，這些都會導致晶片損壞。跟以往的方法：把氮氣緩慢地吹進到室內—相比，只用FBA排氣過濾器就能夠避免那樣現象且提高生產率。
特點
- 全材質用不銹鋼SUS316L
- 優良的耐熱性
- *過濾精度
- 圓筒型過濾體可以從頂端和周圍都排氣
| 過濾精度 | 0.003μm |
|---|---|
| 常用壓力 | 1MPa未滿 |
| 使用溫度 | 400℃ |
| 加熱溫度 | 400℃ |
| 接觸氣體材質 不銹鋼 | SUS316L |
| 接頭 | 1/4“和3/4”tube，1/4“和1/2”墊圈封口，各種法蘭※ |
排氣過濾器
- FBA系列： 過濾精度0.003μm
特點
- 全材質用不銹鋼SUS316L
- 優良的耐熱性
- *過濾精度
- 圓筒型過濾體可以從頂端和周圍都排氣
特點
- 全材質用不銹鋼SUS316L
- 優良的耐熱性
- *過濾精度
- 圓筒型過濾體可以從頂端和周圍都排氣
特點
- 全材質用不銹鋼SUS316L
- 優良的耐熱性
- *過濾精度
- 圓筒型過濾體可以從頂端和周圍都排氣
特點
- 全材質用不銹鋼SUS316L
- 優良的耐熱性
- *過濾精度
- 圓筒型過濾體可以從頂端和周圍都排氣
